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'关键字: 光刻技术'
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玻璃PDMS微流控芯片的制备工艺
曝光、显影时间对十字沟道图形的影响 在
光刻技术
中若曝光时间太短,光反应不完全,使显影时间加长.曝光时间太长则容易在掩...
2015-01-25 18:32:19
先进的加工生产设备
顶部对准显微镜或视频显微镜,BSA底面对准显微镜对准方式。是目前实验室
光刻技术
中最为常用和重要的光刻设备。 技术指标: Wafer ...
2015-01-23 11:53:00
集成微流控芯片的制备
设计图打印在透明胶片上替代价格昂贵的传统铬版掩膜 ; 再将光刻掩膜利用
光刻技术
将掩膜图案转移到涂有光刻胶的硅片上。 以负性光刻胶为例 , 需要聚合的...
2014-08-13 09:57:24
基于光学系统的微流控技术
变焦光学微透镜是一种非常重要的自适应器件,一般应用在光通信、光成像以及
光刻技术
等领域。相对于传统的机械变焦透镜来说,微流控的变焦透镜工艺稍微简单,但...
2014-05-21 10:45:45
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