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'关键字: 掩膜'
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集成微流控芯片的制备
所示。 首先利用计算机辅助, 通过合适的程序进行管道设计; 之后制备光刻
掩膜
, 由于许多芯片中流体管道的宽度处在几十至几百微米的量级 , 甚至可以...
2014-08-13 09:57:24
微流控芯片基片图形光刻的三个步骤
通过以下三个主要步骤可以将光刻
掩膜
上微流控芯片设计图案转移到待加工基片表面: 首先用高速(500~5000r/min)旋转的甩胶机,将有机...
2014-08-13 09:33:16
使用光刻机曝光的三种方式
接触式曝光 接触式曝光是将
掩膜
与待加工基片的光胶层直接接触进行的曝光。
掩膜
和基片通过机械装置压紧或通过真空吸住等方法实现两者紧密接触。 优点:设备简单、造价便宜、分辨...
2014-08-01 09:22:31
PCR 微流控芯片微通道有哪些加工手段
塑法和热压法更高的深宽比。 准分子激光
掩膜
曝光微加工方法 准分子激光
掩膜
曝光微加工方法就是激光经过...
2014-07-17 10:14:54
光刻基本操作步骤
注意:操作时必须带上手套操作 曝光 目的:将
掩膜
版上的图形复印到硅片上 主要步骤: ①、检查光刻版:将光...
2014-07-01 09:52:21
模拟子宫的微流控芯片技术
的玻璃置于烘胶台上进行前烘,95 ℃烘15 min。待玻璃自然冷却后,用
掩膜
覆盖玻璃表面的SU-8 胶层,置于紫外光刻机下曝光20 s。曝光后立刻将...
2014-06-30 09:03:39
基于玻璃基底微流控芯片的制备
剂,加强感光胶与玻璃基底之间的粘合强度,加强感光胶的抗机械擦伤能力,避免
掩膜
(Mask)损伤感光胶,从而影响图案的完整性。 ...
2014-05-14 13:54:38
公司在浦东建立微流控芯片生产基地
上海张江高科技园区郭守敬路351号建立了微流控芯片加工中心,配置了光刻-
掩膜
、软刻蚀、数控CNC三套芯片加工生产线,可以加工和生产所有材质的芯片(无...
2014-05-05 09:21:31
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