URE-2000S/A 型单、双面

◆ 曝光面积： 1 5 0 mm× 1 5 0 m m

◆ 分辨力： 1 μm（ 胶厚2 m 的正胶）

◆ 对准精度： 3 μm（ 双面, 片厚0 . 8 m m ） ， 0 . 8 μm（ 单面）

◆ 掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸， 7 英寸

◆ 样片尺寸： 直径3 0 m m - - 1 5 0 m m

                   厚度0 . 1 m m - - 8 m m

◆ 照明均匀性： 3 . 5 % （ 1 0 0 m m 范围） 5 . 5 % （ 1 5 0 m m 范围）

◆ 掩模相对于样片运动行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 度

◆ 汞灯功率： 1 0 0 0 W （ 直流）

◆ 最大胶厚： 4 0 0 m （ S U 8 胶， 用户提供匀胶显影条件）

◆ 曝光方式： 定时（ 倒计时方式）

◆ 外形尺寸： 1 4 0 0 m m （ 长） 1 2 0 0 m m ( 宽) 1 8 5 0 m m （高）

（1）曝光头 ◆冷光椭球镜 ◆1000 W进口直流高压汞灯(德国欧司朗) ◆XYZ汞灯调节台 ◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤 光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2 ◆冷却风扇

（2）对准工件台 ◆掩模样片相对运动台 ◆转动台 ◆样片调平机构,自动完成 ◆样片调焦机构 ◆承片台4个 （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸） ◆掩模夹4个 （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸） ◆掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜（可以选择带CCD型，目镜和监视 器可同时观测） ◆灯源（配备品2只）、 电源 ◆双目双视场对准显微镜主体 ◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个） ◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个） ◆CCD光学系统（选配件） ◆XYZ底面对准工件台

（4）底面CCD对准系统 ◆光源（配备品2只）、 电源 ◆成像光学系统( 2套,20倍放大) ◆数据采集卡 ◆CCD

（5）电控系统 ◆汞灯触发电源( 1 0 0 0 W直流汞灯) ◆单片机控制系统 ◆控制柜桌 ◆计算机系统（19英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统 ◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 ◆电磁阀驱动 ◆气动仪表

（7）其他附件（选配） ◆真空泵一台 ◆空压机一台） ◆恒温循环水冷却系统 ◆管道

（8）技术资料 ◆使用维修说明书