URE-2000/25型光刻机

       技术特征：        1、采用多反射镜实现均匀照明；               2、超精密手轮对准调节         3、单片机控制,触摸开关操作；          4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；

       既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储；              5、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，温度小于35度）；             6、手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。              快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）；            7、采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；        8、整机精度高、性能可靠、操作方便、具有高性价比。  

       技术参数：

       ◆ 曝光面积： 1 0 0 m m × 1 0 0 m m

       ◆ 分辨力： 1 . 2 μm（ 胶厚2 μm的正胶）

       ◆ 对准精度： 0 . 8 μm

       ◆ 掩模样片整体运动范围： X ： 6 m m ; Y : 6 m m

       ◆ 掩模尺寸： 2 . 5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

       ◆ 样片尺寸: 直径1 5 m m - - 1 0 0 m m ( 可适应非标准片或碎片)

                        厚度0 . 1 m m - - 6 m m

       ◆ 照明均匀性： 4 % （ 1 0 0 m m 范围）

       ◆ 掩模相对于样片运动行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 度

       ◆ 汞灯功率： 3 5 0 W （ 直流）

       ◆ 曝光波长： 3 6 5 n m

       ◆ 曝光能量密度： 1 5 m W / c m

       ◆ 曝光设定方式： 定时（ 倒计时方式0 . 1 s— 9 9 9 . 9 s ）

       ◆ 外形尺寸： 1 2 0 0 m m （ 长） 9 0 0 m m ( 宽) 1 6 0 0 m m （ 高）

       配置

（1）曝光头

冷光椭球镜

350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

XYZ汞灯调节台

光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

冷却风扇

（2）对准工件台

掩模样片整体运动台

掩模样片相对运动台

转动台

样片调平机构, 手动

样片调焦机构，手动

承片台3个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）

掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

光源（配备品2只）、   电源

双目双视场对准显微镜主体

目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

（4）电控系统

汞灯触发电源(350W直流汞灯)

单片机控制系统

控制箱

（5）气动系统

气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

电磁阀驱动

气动仪表

（6）其他附件

真空泵一台

空压机一台

管道

（7）技术资料

使用维修说明书

显微镜使用说明书