URE-2000A型光刻机 ◆ 曝光面积：150mm×150mm ◆ 分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶） ◆ 对准精度：0.6μm ◆ 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm ◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸 ◆ 样片尺寸：直径15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm ◆ 照明均匀性： 3.5%（100mm 范围）； 5%（ 150mm范围） ◆ 掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度 ◆ 最大胶厚：500m(SU8胶，用户提供匀胶条件) ◆ 光源平行性：3.5 ◆ 汞灯功率：1000W（直流） ◆ 曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定） ◆ 外形尺寸:1400mm（长）1200mm(宽) 2150mm（高）

技术参数  

（1）曝光头 ◆冷光椭球镜 ◆1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型) ◆XYZ汞灯调节台 ◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1 、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片 、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2 ◆冷却风扇 ◆循环水冷系统（2）对准工件台 ◆掩模样片整体运动台 ◆掩模样片相对运动台 ◆转动台 ◆样片调平机构,自动完成 ◆样片调焦机构，自动调 ◆承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸） ◆掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸） ◆基片抽拉式上下机构（3）对准显微镜 ◆光源（配备品2只）、电源 ◆双目双视场对准显微镜主体 ◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个） ◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）（4）CCD对准系统 ◆光源（配备品3只）、电源 ◆成像光学系统 ◆数据采集卡 ◆CCD（5）电控系统 ◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯) ◆单片机控制系统 ◆控制柜桌 ◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)（6）气动系统 ◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 ◆电磁阀驱动 ◆气动仪表（7）其他附件 ◆真空泵一台（无油泵） ◆空压机一台（静音泵） ◆管道（8）技术资料 ◆使用维修说明书 ◆显微镜使用说明书