旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒；

转动速度：300-10,000rpm；

工作台尺寸：Ф10—Ф120mm（可更换）；

旋涂不均匀性：≤±3%；

工艺时间设定： 0-3000 sec/step，时间设置精度：0.1sec。