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'关键字: 光刻'
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先进的加工生产设备
成曝光图形的,与光学曝光对应,其特点是将聚焦电子束代替光照以实现抗蚀剂(
光刻
胶)的曝光(改性)。在实验室广泛应用的电子束曝光机为矢量扫描高斯型系统,...
2015-01-23 11:53:00
常用的芯片材质
有利于化学方法进行表面改性 可用
光刻
和蚀刻技术进行加工 有机聚合物 ...
2014-12-03 09:52:21
不同材质PCR微流控芯片对比
硅
光刻
/蚀刻 油封等 ...
2014-10-16 11:57:30
在微流芯片中实现可控PH梯度
这里报道一种以软
光刻
(soft-lithography)为主要手段的微加工技术制备PH值梯度微流芯片的方法. 此种PH梯度芯片具有容易加工、可根据需要快速得到不同范...
2014-08-14 09:24:34
集成微流控芯片的制备
中硅和玻璃成为最重要和最常见的材料。这些材料的加工工艺比较成熟 , 通过
光刻
等图案化手段可以使玻璃基片的特定图案暴露而其余部分被
光刻
胶或者金属镀层所...
2014-08-13 09:57:24
掩膜的制备以及对掩膜的要求
光刻
掩模的基本原理是图形区和非图形区对光线的吸收和透射能力不同。通过曝光成像的原理,将掩膜上的图形转移到基片光胶上。 ...
2014-08-11 13:24:56
Creating Two-Dimensional Patterned Substrates for ...
提供了一种通用的制备清晰可控的蛋白图案的技术。这个过程包含三个部分:通过
光刻
制备具有图案的母版,制备具有图案的PDMS,采用微接触印刷技术制备镀金基...
2014-08-08 13:19:13
LIGA技术和准LIGA技术优缺点对比
准LIGA技术是用紫外光光源来代替LIGA技术中的同步辐射X光深层
光刻
,然后进行后续的微电铸和微复制工艺。它不需要像LIGA技术所需的同步辐射...
2014-07-25 09:12:01
PCR 微流控芯片微通道有哪些加工手段
成到了PC( 聚碳酸酯) 基的微流控芯片表面。热压法的工艺过程是: 采用
光刻
化学腐蚀法在硅表面制作出微通道, 溅射沉积镍金属, 获得镍模板, 通过热...
2014-07-17 10:14:54
模拟子宫的微流控芯片技术
用氮气吹干,备用。将洁净玻璃置于匀胶台,向其中心处滴加SU8 3025
光刻
胶,匀胶机转速为600 r/ min,持续30 s,升高转速至1000 ...
2014-06-30 09:03:39
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