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'关键字: 基片'
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集成微流控芯片的制备
见的材料。这些材料的加工工艺比较成熟 , 通过光刻等图案化手段可以使玻璃
基片
的特定图案暴露而其余部分被光刻胶或者金属镀层所保护 , 再利用氢氟酸或其...
2014-08-13 09:57:24
微流控芯片加工的薄膜沉积的四种工艺
在加工微流控芯片的同时,需要在
基片
上沉积各种材料的薄膜。制造加工薄膜的四种方法: 氧化 氧化是将硅片在氧化环...
2014-08-13 09:19:40
微流控芯片实验室在食品中的应用
无动力微流控芯片及其使用方法。该微流控芯片包括流体流动的微通道片层和芯片
基片
,两者都由聚二甲基硅氧烷(PDMS)制成,其进样方式不需要外部能量。此微...
2014-08-12 09:31:19
掩膜的制备以及对掩膜的要求
形区对光线的吸收和透射能力不同。通过曝光成像的原理,将掩膜上的图形转移到
基片
光胶上。 对掩...
2014-08-11 13:24:56
使用光刻机曝光的三种方式
接触式曝光 接触式曝光是将掩膜与待加工
基片
的光胶层直接接触进行的曝光。掩膜和
基片
通过机械装置压紧或通过真空吸住等方法实现两者紧密接触。 优点:设备简单、造价便宜、分辨率较高,约1...
2014-08-01 09:22:31
干法刻蚀和湿刻蚀的优缺点对比
各向异性刻蚀。 各向同性刻蚀:刻蚀剂从
基片
表面向下腐蚀的速率与在其他各方向大致相同,这种刻蚀成为各向同性刻蚀。例如...
2014-07-29 09:55:39
微流控芯片键合需要遵守的原则
无论采用何种键合方式,键合之前都需要进行严格清洗:刻蚀后玻璃
基片
表面会残留较多的有机物和无机颗粒、尘埃等,直接造成表面的平整出现不均匀,...
2014-07-23 11:39:42
PCR 微流控芯片微通道有哪些加工手段
20 世纪90 年代初期, 人们试图采用塑料代替硅、玻璃作为
基片
来制作微流控器件。到90 年代后期, 相继出现了许多针对高聚物的加工方法...
2014-07-17 10:14:54
微流控芯片的基本结构
结构是比较简单的,就是在几十个平方厘米的基板上加工出微通道,然后将盖片和
基片
键合到一起,以形成封闭的微流体通道。根据芯片上的通道个数,可以将其分为单...
2014-07-10 10:04:11
微流控芯片微液滴的操作方法
压)作为剪切力和驱动力操控微液滴的方法。Hosokawa等在以PDMS为
基片
和PMMA 为盖片的芯片上利用空气压力生成微液滴,以憎水微毛细管通道(H...
2014-06-19 16:53:34
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