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'关键字: 等离子'
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微流控芯片发展现状、材料和制作
用光刻、湿腐蚀技术在玻璃、石英、硅片上刻蚀出微通道,之后还发展了电感耦合
等离子
体刻蚀技术,LIGA技术等。但是以玻璃、石英、硅片为基质来制作微流控芯片...
2015-03-02 11:00:24
玻璃PDMS微流控芯片的制备工艺
均匀混合并去除气泡后,于75e下固化即可得到PDMS盖片盖片与基片经空气
等离子
体处理后迅速贴紧,即制得玻璃-PDMS微流控芯片. 微...
2015-01-25 18:32:19
UPT经济型超纯水器
S);原子发射(AES); 离子色谱(IC);
等离子
发射光谱(ICP); 高效液相色谱(HPLC); ...
2015-01-23 15:05:56
不同材质PCR微流控芯片对比
模塑法 氧
等离子
体处理键合 1.9μL或30...
2014-10-16 11:57:30
微流控芯片加工的薄膜沉积的四种工艺
称。 分为常压化学气相沉积、低压化学气相沉积(LPCVD)和
等离子
体化学气相沉积(PECVD)。 一般而言常用化学气相沉积法制...
2014-08-13 09:19:40
干法刻蚀和湿刻蚀的优缺点对比
小线难以掌控。 干法刻蚀的刻蚀剂是
等离子
体,是利用
等离子
体和表面薄膜反应,形成挥发性物质,或直接轰击薄膜表面使之...
2014-07-29 09:55:39
微流控知识问答
性以增强表面的极性或亲水性来提高和稳定电渗流。PDMS 改性中最常用的是
等离子
体改性 ,但
等离子
体氧化处理后的PDMS微芯片的电渗流极不稳定。 ...
2014-07-15 09:55:39
模拟子宫的微流控芯片技术
3 微柱阵列用于支撑PC 膜。PC 膜处理按照文献的方法,将PDMS 层
等离子
处理后与APTES 处理的PC 膜封接,步骤如下:淤将需要封接的PDMS...
2014-06-30 09:03:39
AZ4620光刻胶超厚膜高感光度G线标准正型
:120℃ 60秒以上 剥离:AZ剥离液及/或氧
等离子
体灰化 Pre-bake: ...
2014-06-26 08:42:08
SU 8光刻胶工艺
的时 5)取出电铸后的PDMS样品,并将它烘干 6)在氧
等离子
体气氛下去除PDMS 7)在显微镜下对电铸的微结构进行检查,以确...
2014-06-05 10:43:26
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